真空部件
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| VDP35干式真空泵優勢 |
● 軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環境，并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。
● 變頻器驅動：全球范圍內泵性能完全相同、泵過載保護和遠程啟動/停止功能特性。
● 獨特的軸向氣隙電機：減小了整體泵尺寸，并且降低了功率和噪聲。
● 簡單的單端雙渦旋設計：可實現在幾分鐘內完成維護工作，從而降低運行成本并盡可能延長正常運行時間。
● 變頻器驅動：全球范圍內泵性能完全相同、泵過載保護和遠程啟動/停止功能特性。
● 獨特的軸向氣隙電機：減小了整體泵尺寸，并且降低了功率和噪聲。
● 簡單的單端雙渦旋設計：可實現在幾分鐘內完成維護工作，從而降低運行成本并盡可能延長正常運行時間。
| 使用范圍 |
VDP35干式真空泵廣泛應用于電子掃描顯微鏡-SEM、實驗室工作臺上真空、激光、氣體回收和再循環、射束線和高能物理、分析儀器、渦輪分子前級泵、覆層、低溫學、蒸餾/萃取/過濾、冷凍干燥、熔爐、脫氣/硫化-油、凝膠體干燥、冷凍制造、研發、旋轉離心蒸發器、氦檢漏儀、負載鎖和傳輸腔、稀有氣體再循環、SEM/FIB（離子束維修）、稀有氣體回收、溶劑回收。
| 技術參數 |
|
VDP35 |
||
|
額定轉速 |
1750 |
rpm |
|
抽速 |
35 |
m3/h |
|
極限壓力 |
10x10-3 |
mbar |
| 電壓 | 220 | V |
| 頻率 | 50/60 | Hz |
|
電機功率 |
0.63 |
kW |
|
重量 |
48 |
kg |
|
進口法蘭 |
KF40 |
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|
出口法蘭 |
KF25 |
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|
噪聲 |
57 |
dB |
|
振動 |
<4.5 |
mms-1 |
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泄漏率 |
＜1x10-6 |
mbarls-1 |
|
運行環境溫度 |
10 ～ 40 |
℃ |
