真空部件
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超高真空閘閥 |
操作環(huán)境限于空氣、惰性氣體及真空環(huán)境。
超高真空閘閥主要由三個(gè)組件組成：分別為驅(qū)動器、閥門與閥體；接口端可配置KF、ISO、ANSI與CF法蘭。
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應(yīng)用 |
超高真空閘閥適用于真空排氣系統(tǒng)，超高真空應(yīng)用的抽氣系統(tǒng)，半導(dǎo)體技術(shù)，同步輻射中心與學(xué)術(shù)研究系統(tǒng)等。
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特點(diǎn) |
● 設(shè)計(jì)可靠、成熟
● 不含潤滑劑，最高可烘烤至250℃
● 金屬閥帽密封
● 具有自動防故障功能
● 不銹鋼閥體
● 進(jìn)給機(jī)構(gòu)以焊接金屬波紋管密封
